시간당 최대 120 개의 웨이퍼 및 / 또는 T-ESC® 패키지를 갖춘 완전 자동화 된 정전 척킹 / 디 척킹 유닛으로 취급시 최고의 수율과 많은 진단 기능을 보장합니다.
캐리어 T-ESC®의 얇은 초박형 기판의 수동 척킹 / 디 척킹 장치로 유연한 모바일 처리 도구 및 진단 기능을 갖춘 4”/ 6”~ 8”/ 12”의 유연한 크기를 제공합니다.
