Protec
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T-ESC®
玻璃
ProTec® 的 ESC 和 T-ESC® 技术为新设备或现有设备的高要求加工提供解决方案，从而实现更好的成本控制，并且可以在现有生产线上轻松集成新工艺，例如标准的薄玻璃涂层设备。
对于in-line或cluster加工设备，也可以获得易碎基板的高成品率。
我们的静电系统专为满足客户需求而设计，例如：在移动静电载体上固持多块玻璃（ 3D 类型）满足inline等离子涂敷或用于温控 OLED 蒸镀。
持取
光学接合
基板弯曲
持取
物理气相沉积（PVD）/溅镀
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
有机气相沉积（OVPD）
化学气相沉积（CVD）
等离子清洗/去胶
