T-ESC®

디스플레이/유리

ProTec®이 제공하는 ESC 및 T-ESC® 기술은 새로운 장비뿐만 아니라 기존의 장비에서도 부담이 큰 프로세싱에 대한 솔루션을 제공하며, 이를 통해 장비 보유 비용을 개선하고 이미 보유한 라인에 표준 장비에 대한 박형 글래스 코팅과 같은 새로운 공정을 쉽게 통합할 수 있습니다. 인라인 및 클러스터 기반 프로세싱 도구를 위한 깨지기 쉬운 기판을 생성할 수 있어 높은 수율을 얻습니다.

 

저희 정전 시스템은 특히 고객의 필요에 따라 설계되었습니다. 예: 이송 정전 캐리어에 대한 다중 글래스 처킹(3D 유형 포함)과 이들을 인라인 플라즈마 코팅 과정 또는 온도 통제 OLED 증착 동안 가이드

 

핸들링

PECVD

OVPD

CVD

라즈마 클리닝 / 애싱

광학 본딩

핸들링

기판 벤딩

당사 기계

ACU 3000

시간당 최대 120 개의 웨이퍼 및 / 또는 T-ESC® 패키지를 갖춘 완전 자동화 된 정전 척킹 / 디 척킹 유닛으로 취급시 최고의 수율과 많은 진단 기능을 보장합니다.

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MCU 3000

캐리어 T-ESC®의 얇은 초박형 기판의 수동 척킹 / 디 척킹 장치로 유연한 모바일 처리 도구 및 진단 기능을 갖춘 4”/ 6”~ 8”/ 12”의 유연한 크기를 제공합니다.

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