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protec carrier systems
제품
제품 및 기계 - 포트폴리오
반도체, 기계, 캐리어 및 귀사의 특별 솔루션
ProTec®의 ESC 및 T-ESC® 기술은 새로운 장비 또는 기존 장비의 까다로운 처리를위한 솔루션을 제공합니다. 이로 인해 소유 비용이 줄어들고 얇은 유리 코팅과 같은 기존 라인의 새로운 공정을 쉽게 통합 할 수 있습니다.
표준 장비, 접착제없이 임시 접착, 민감한 기판의 그립 핑 및 고정. 인라인 및 클러스터 기반 처리 툴을 위해 취약한 기판에서도 최고의 수율을 생성 할 수 있습니다.
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ACU 3000
ProTec®의 완전 자동화 처킹 유닛 (ACU 3000)은 고전압 일시 본딩 및 디본딩 애플리케이션을 위해 제작되었으며, 시간당 최대 120 웨이퍼 + T-ESC® 패키지를 처리합니다.
學到更多
MCU 3000
수동 척킹 장치 (MCU 3000)는 T-ESCs®를 사용하여 장치 웨이퍼를 임시 접합 및 접합 해제하는 데 사용됩니다. 소량 또는 R & D 생산에 적합합니다.
學到更多
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래킷 바이폴라
ProTec® (TOR) 라켓 바이폴라는 극도로 얇은 웨이퍼, 유리 또는 전도성 및 비전 도성 포일과 같은 깨지기 쉬운 기판을 이송하는 데 사용하기 쉬운 도구입니다.
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