기계류

래킷 바이폴라

ProTec®(TOR) 래킷 바이폴라는 초박형 웨이퍼, 유리, 또는 전도성이나 비전도성 포일 같은 부서지기 쉬운 기판을 이송할 때 사용하기 좋은 도구입니다.
래킷에서 생성된 처킹 힘은 균일하여 기판에 스트레스를 주지 않습니다. 때문에 부서지기 쉬운 기판에 금이나 손상이 발생하는 것을 막을 수 있습니다.
일반적인 핸들링 작업 외에도 ProTec®(TOR) 래킷 바이폴라는 디테이핑(de-taping) 또는 광학 검사와 같은 용도로도 사용할 수 있습니다.
ProTec®(TOR) 래킷 바이폴라는 9V 배터리로 작동하며, 따라서 작업자는 부착된 기판과 함께 자유롭게 이동할 수 있습니다.
작업자는 한 손으로 래킷을 사용할 수 있으며, 박형 웨이퍼를 쉽게 들어 올릴 수 있도록 광학 정렬 기능을 추가로 적용할 수 있습니다.

래킷 바이폴라

전형적인 응용

  • 균일한 정전력을 처킹 표면에 생성합니다.

  • 와이어리스 및 튜브리스 핸들링을 위한 통합 배터리로 전원을 공급함

  • 프로세스 미디어:전원 공급 9V 배터리

  • 선택 가능한 미디어: N<sub>2</sub> 또는 CDA, 진공

  • 크기: 4”, 6”, 8”, 12”, 다른 크기는 요청에 따름

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기술 데이터

옵션 미디어 :

N2 또는 CDA, 진공

프로세스 미디어 :

전원 공급 장치 9V 배터리

크기 :

4”, 6”, 8”, 12”, 요청시 다른 모양