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ProTec® 측정 컨트롤러

ProTec®은 다양한 고전압 전원 공급 장치를 제공하며, 저희 고전압 측정 컨트롤러 (HV MC)는 처킹 작업 전용입니다.
ProTec®´s HV MC는 고객의 특정 필요에 따라 제작하며, 여기에는 전압 범위나 측정 기능도 포함됩니다.
내장 유닛부터 랙 유형의 하우징까지에 이르는 다양한 버전의 솔루션을 인라인 및 이동형 애플리케이션을 위해 완벽하게 맞춤 제작할 수 있습니다.
각 고전압 포트에 극민감성 전류 및 전압 측정 기능이 포함되어 있어서 정확한 데이터를 생성하여 프로세싱 단계의 수율을 높일 수 있습니다.
기판이 척 위에 있는지를 감지하는 것뿐만 아니라 ESC 또는 T-ESC®에 가해지는 프로세스 관련 충격도 모니터할 수 있어서 특별한 프로세스 컨트롤도 가능합니다.
측정 컨트롤러는 두 가지 기본 유형으로 나뉩니다. 하나는 고정형 애플리케이션용이며 또 하나는 이동형 애플리케이션용으로, 컨트롤러는 특별하게 설계한 충전형 배터리 솔루션으로 전력을 공급받으며, 진공 공정에도 적합합니다.

ProTec® 측정 컨트롤러

전형적인 응용

고정형 전원 공급 고압 측정 컨트롤러:

  • 조정 가능한 전압 범위는 ± 2kV, ± 3kV, 0 to 3kV이며 기타 전압은 요청에 따름

  • 소형 폼 팩터

  • 하나 또는 여러 개의 ESC에 전원을 공급함

  • 다양한 측정 및 모니터링 기능. 예: 누설 전류 및 전압 모니터링, 기판 감지

  • 데이터 인터페이스를 포함하는 독립형 및 내장형

  • 고급 디처킹 기능

배터리 구동 고압 측정 컨트롤러 유닛:

  • 진공 및 공기가 있는 상태 적합

  • 소형 폼 팩터

  • 내고온성

  • 완전한 사용자 맞춤식 솔루션 가능

  • 다양한 측정 및 모니터링 기능. 예: 누설 전류 및 전압 모니터링, 데이터 읽기 기능

  • 진공 환경에서도 배터리가 전력을 공급함

  • 긴 작업 시간

  • 충전 가능

  • 하나 또는 여러 개의 ESC에 전원을 공급함

  • 조정 가능한 전압 범위는 ± 2kV로, 기타 전압은 요청에 따름

  • 터치가 필요 없는 충전과 방전 기능은 요청에 따름

기술 데이터

고정 전원 공급 장치-조정 가능한 전압 범위 :

± 2kV, ± 3kV, 0 ~ 3kV
요청시 다른 사람

배터리 전원-조정 가능 전압 범위 :

± 2 kV, 요청시 다른