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ACU 3000

ProTec®의 완전 자동화 처킹 유닛 (ACU 3000)은 고전압 일시 본딩 및 디본딩 애플리케이션을 위해 제작되었으며, 시간당 최대 120 웨이퍼 + T-ESC® 패키지를 처리합니다.
ACU 3000은 완전 자동으로 작동하며, 카세트 타워 안에 카세트를 놓으면 의도한 본딩/디본딩 작업이 시작됩니다.
ACU 3000은 MCU 3000보다 더 많은 진단 기능을 포함하고 있기 때문에, 웨이퍼 가공 체인 전체에 걸쳐 데이터를 안전하게 수집할 수 있습니다.
또한 처킹 공정 중의 정렬과 고정이 베르누이 정리를 기반으로 이루어지기 때문에 핸들링 중 가장 높은 수율이 보장됩니다.
기계 안쪽의 베르누이 엔드 이펙터가 웨이퍼와 T-SEC의 기기를 안전하고 신뢰할 수 있는 방식으로 핸들링하며, 50µm 두께의 박형 웨이퍼까지 독자적으로 핸들링 가능합니다.

ACU 3000

전형적 애플리케이션

  • 정전 캐리어와 웨이퍼를 위한 고정밀 정렬을 사용하여 베르누이 정리에 따른 비접촉 기판/웨이퍼 핸들링

  • 얇거나 초박형인 기판/웨이퍼(˂ 50µm)의 핸들링

  • 시간당 최대 120개의캐리어 패키지 처리

  • 두 개의 ID 리더, 뒷면과 앞면에서 인식함

  • 프로세스 미디어: 전원 공급 100–240V, 공압  N2 또는 CDA, 진공

  • 커뮤니케이션: SEMI 표준 SECS/GEM, 다른 방식은 요청에 따름

  • 기계 치수:: 길이 x 폭 x 높이: 1440 x 1485 x 2092mm

  • 무게:1000 kg

  • 클린룸 등급: 100, 10

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기술 데이터

처리 매체 :

전원 공급 장치 100–240V
공압 N2 또는 CDA
진공

통신:

SEMI 표준 SECS/GEM
요청시 다른

기계 치수 :

길이 x 너비 x 높이 : 1440 x 1485 x 2092 mm

무게:

1000 kg

클린룸 등급: 100, 10