충 방전 측면에서 유연성을 높이기 위해 ProTec은 뒷면에서 웨이퍼 캐리어 패키지를 전기적으로 접촉하는 추가 방법을 개발했습니다. 이 충전 방법의 또 다른 장점은 전면을 만질 필요가 없다는 것입니다.
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protec
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충 방전 측면에서 유연성을 높이기 위해 ProTec은 뒷면에서 웨이퍼 캐리어 패키지를 전기적으로 접촉하는 추가 방법을 개발했습니다. 이 충전 방법의 또 다른 장점은 전면을 만질 필요가 없다는 것입니다.