<p>정전 고정은 어떻게 작동합니까?</p>

정전기를 발생시키는 원리는 두 가지로, 존슨-라벡 효과(Johnsen-Rahbek effect)와 쿨롱 힘(Coulomb force)입니다. 두 유형은 모두 하나 이상의 전극에 고전압을 가했을 때 발생합니다. 하지만 힘 생성 메커니즘은 다릅니다. 존슨-라벡 척에서 전류는 유도체 사이를 흐르며 기판 재료에 직접 접촉하면 강력한 힘을 유도합니다.

 

그러므로 척과 기판 사이의 직접적인 접촉은 필요 없지만, 척과 기판 표면이 가까울수록 높은 힘이 발생합니다. 쿨롱 척은 일반적으로 고전압을 사용하지만, 저 처킹 전류로도 두 개의 플레이트 사이의 전기장이 이 두 플레이트를 동시에 밀어내는 평행판축전지의 역할을 합니다.

 

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