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通过静电能量场实现非接触式夹持的夹持装置
公司介绍
ProTec Carrier Systems
对于in-line或cluster加工设备,也可以获得易碎基板的高成品率。
ProTec® 的 ESC 和 T-ESC® 技术为新设备或现有设备的高要求加工提供解决方案,从而实现更好的成本控制,并且可以在现有生产线上轻松集成新工艺,例如标准的薄玻璃涂层设备。