Protec
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ProTec® 的自动夹持装置(ACU 3000)专为高产量临时接合和分离应用而设计,每小时可处理多达 120 个晶圆 + T-ESC® 封装。
ProTec® 提供大范围的高电压电源、高电压测量控制器(HV MC),用于专门的夹持任务。