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常见问题
基板材料对夹持行为有影响吗?
是的,基板材料以及直接接触表面对静电力具有重要影响。
导电表面具有最高的夹持压力,其次是半导电材料到隔离材料。
直接接触表面越平坦、越平滑,力越大,所有突出部分均可起到间隔物的作用,从而降低力的产生。这并不意味着没有足够的固持力,只是与理想情况相比,力变小了。
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