protec carrier systems
機械
研磨
持取
针测
固定电源高电压测量控制器：
可根据要求提供 ± 2 kV，± 3 kV，0至 3 kV 其他可调电压范围
电池供电的高电压测量控制器装置：
可调电压范围 ±2 kV，其他电压范围可根据要求提供
场务要求：
电源 9V 电池
可选介质：
N2 或 CDA，真空
尺寸：
4”, 6”, 8”, 12”，可根据要求提供其他形状
持取
物理气相沉积（PVD）/溅镀
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
有机气相沉积（OVPD）
化学气相沉积（CVD）
等离子清洗/去胶
持取
光学接合
基板弯曲
离子注入
化学气相沉积（CVD）/等离子体增强化学气相沉积（PECVD）
物理气相沉积（PVD）/溅镀
等离子清洗/去胶
深反应离子刻蚀（DRIE）/反应离子刻蚀（RIE）
电镀
场务要求：
电源 100-240 V，
气动 N2 或 CDA
真空
通信接口：
SEMI 标准 SECS/GEM，
其他按要求提供
机器尺寸：
长 x 宽 x 宽：1440 x 1485 x 2092 mm
重量:
1000 千克
洁净室等级：100, 10
三种基本尺寸可供选择：
3”/4”/6”, 6”/8”和 8”/12”
场务要求：
电源， N2（CDA/ 压缩空气），真空
机器尺寸：
长 x 宽 x 宽：
621 x 430 x 330 mm
重量：
20 千克
电镀
退火
晶粒/芯片固持
持取
光刻
光阻涂布/旋转涂布
去厚胶边（EBR)
烘烤
曝光
显影
去胶
旋转蚀刻
滑动剥离
持取
持取
针测
旋转蚀刻