ProTec® 测量控制器

ProTec® 提供大范围的高电压电源、高电压测量控制器（HV MC），用于专门的夹持任务。不同的版本从内置装置开始，到机架式外壳，再到完全定制的inline或移动应用解决方案。 ProTec® 的 HV MC 可根据客户的特定需求制造，包括电压范围和测量功能。通过为每个高电压端口包含超灵敏电流和电压测量，可以生成精确数据以提高加工流程的成品率。不仅可以检测基板是否放置在夹盘上，而且可以监控对 ESC 或 T-ESC® 的过程相关影响，从而实现出色的过程控制。

测量控制器可分为两种基本类型，一种用于固定应用，另一种用于移动应用，其中控制器由专门设计的可充电电池解决方案供电，同样也适用于真空加工。

ProTec® 测量控制器

典型应用

固定电源高电压测量控制器：

可根据要求提供 ± 2 kV，± 3 kV，0至 3 kV 其他可调电压范围
外形小巧
为一个或多个 ESC 供电
多种测量和监测功能，例如漏电流和电压监测、基板检测
有数据界面的独立和内置版本
先进的解除夹持功能

电池供电的高电压测量控制器装置

适合真空和常压
外形小巧
耐高温
可提供定制解决方案
多种测量和监测功能，例如漏电流和电压监测、数据读取功能
即使在真空环境中也可以供电
工作时间长
可充电
为一个或多个 ESC 供电
可调电压范围 ±2 kV，其他电压范围可根据要求提供
可根据要求提供非接触式充放电功能

技術數據

固定电源高电压测量控制器：

可根据要求提供 ± 2 kV，± 3 kV，0至 3 kV 其他可调电压范围

电池供电的高电压测量控制器装置：

可调电压范围 ±2 kV，其他电压范围可根据要求提供