MCU 3000

此外，还包括手动对准功能，可供操作员使用。 MCU 3000 配有用于操作的触摸屏和用于进行夹持和分离的持取装置。手动夹持装置（MCU 3000）用于临时将器件晶圆与我们的 T-ESC® 接合和分离。它适用于低产量或研发生产，经过培训的操作员每小时可以接合和分离 15-25 个晶圆。
MCU 3000 配有用于操作的触摸屏和用于进行夹持和分离的持取装置。此外，还包括手动对准功能，可供操作员使用。顺便指出，我们理所当然地确保为您的操作员提供特殊培训和支持。晶圆尺寸的变化可在 10 分钟内快速可靠地完成。 MCU 3000 有三种标准尺寸，但也可提供定制版本。

MCU 3000

典型应用

三种基本尺寸可供选择： 3”/4”/6”, 6”/8”和 8”/12”，以及按需定制版本
装置顶部的工作板确定基板尺寸。通过更换工作板实现从一种尺寸升级到另一种尺寸，从而改变尺寸。
增强的分离功能
夹持电压可编程，最高 3kV，高灵敏度电流测量。
增强型 SIEMENS PLC S7/200 控制器包含 GUI 和多种（自诊断）功能。
LCD 触摸屏面板包括可选择的屏幕显示器，用于显示电压、电流和状态信息、客户的夹持类型设置和工艺条件等。
参数配置设定存储在定制数据中，记录每种夹具类型。
场务要求：电源， N₂（CDA/ 压缩空气），真空
机器尺寸： 621 x 430 x 330 mm 长 x 宽 x 宽：
重量： 20 千克

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技術數據

三种基本尺寸可供选择：

3”/4”/6”, 6”/8”和 8”/12”

场务要求：

电源， N_{2（CDA/ 压缩空气），真空}

机器尺寸：

长 x 宽 x 宽：
621 x 430 x 330 mm

重量：

20 千克