protec carrier systems
機械
机械部分：
ACU 3000
ProTec® 的自动夹持装置（ACU 3000）专为高产量临时接合和分离应用而设计，每小时可处理多达 120 个晶圆 + T-ESC® 封装。 ACU 3000 完全自动化操作，传送盒需要放置在存储塔内，工具开始于预设的接合/分离任务。 在机器内部，伯努利末端夹持器以安全可靠的方式持取晶圆和 T-ESC，即使 50µm 薄晶圆也可以独立持取。 ACU 3000 具有更多的诊断功能，然后 MCU 3000 可以通过整个晶圆处加工链实现安全的数据采集。 在夹持过程中的对准和固定也是基于伯努利原理完成的，从而在持取过程中保证最高产量。
ACU 3000
典型应用
-
根据伯努利原理进行非接触式基板/晶圆持取，静电载体和晶圆高精度对准
-
薄型和超薄型基板/晶圆（˂ 50µm）持取
-
每小时高达 120 个载体封装产量
-
两个 ID 读卡器，从后面和前面读取
-
场务要求： 电源 100-240 V，气动 N2 或 CDA，真空
-
通信接口： SEMI 标准 SECS/GEM，其他按要求提供
-
机器尺寸： 1440 x 1485 x 2092 mm 长 x 宽 x 宽：
-
重量： 1000 千克
-
洁净室等级： 100, 10
技術數據
场务要求：
电源 100-240 V，
气动 N2 或 CDA
真空
通信接口：
SEMI 标准 SECS/GEM，
其他按要求提供
机器尺寸：
长 x 宽 x 宽：1440 x 1485 x 2092 mm
重量:
1000 千克
洁净室等级：100, 10