모바일 T-ESC를위한 새로운 접촉 시스템
PROTEC에 오신 것을 환영합니다
정전기 에너지 장에 의한 비접촉 클램핑을위한 클램핑 장치
그 회사
ProTec Carrier Systems
ProTec®의 ESC 및 T-ESC® 기술은 새로운 장비 또는 기존 장비의 까다로운 처리를위한 솔루션을 제공합니다. 표준 장비의 얇은 유리 코팅, 접착제가없는 임시 접착 또는 파지 및 민감한 기판의 고정과 같은 기존의 라인에 새로운 공정을 쉽게 통합 할 수 있도록합니다. 인라인 및 클러스터 기반 처리 툴을 위해 취약한 기판에서도 최고의 수율을 생성 할 수 있습니다.
ProTec은 MicroLED´s의 대량 생산을 위한 솔루션을 제공합니다
ACU 3000
완전 자동화
척킹 유닛
완전 자동 정전 척킹 / 디 척킹 장치 :
- 메인 유닛으로서 척킹 모듈 CM 3000
- 프레임 워크로서의 얇은 웨이퍼 분류기 / 핸들러
MCU 3000
설명서
척킹 유닛
완전 자동 정전 척킹 / 디 척킹 장치 :
- 제공되는 3가지 기본 크기: 3”/4”/6”, 6”/8”, 그리고 8”/12”
- 요청 시 사용자 지정 버전 제작
기계류
측정 컨트롤러
고정형 전원 공급 고압 측정 컨트롤러:
- 조정 가능한 전압 범위는 ± 2kV, ± 3kV, 0 to 3kV이며 기타 전압은 요청에 따름
- 소형 폼 팩터
기계류
래킷 바이폴라
ProTec®(TOR) 래킷 바이폴라는 초박형 웨이퍼, 유리, 또는 전도성이나 비전도성 포일 같은 부서지기 쉬운 기판을 이송할 때 사용하기 좋은 도구입니다.
- 균일한 정전력을 처킹 표면에 생성합니다.
