정전 기구를 진공 기구와 비교했을 때 그 차이는 무엇입니까?

정전력은 전극 표면 전체에 걸쳐서 균일한 반면 진공력은 채널이나 구멍구엉에서 가장 활발합니다. 그 때문에 정전력이 진공력보다 기판에 스트레스를 덜 가하는 것이며, 특히 아주 얇고 민감한 기판의 경우에 그러한 영향이 더욱 큽니다.

진공력의 세기는 정전력보다 훨씬 더 강해서 보다 무거운 물체를 더 쉽게 들어올릴 수 있습니다. 정전 척 또는 캐리어는 진공 환경에서 사용할 수 있지만 진공 척은 사용할 수 없습니다.

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