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常见问题

静电固持与真空固持有什么区别？

静电力在电极表面上是均匀的，而真空力在通道或孔的位置最活跃。

这就是与真空相比，静电力对基板更不会产生应力的原因，超薄和敏感基板尤其如此。

与静电力相比，真空力要大得多，因此更容易提升较重的物体。

静电夹盘或载体可以在真空环境中使用，而真空夹盘不可能实现这一点。

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