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글래스파이버 T-ESC® (Glassfiber T-ESC®)
글래스파이버 이송 정전 캐리어 (Glassfiber T-ESC®)는 일시적으로 본딩한 웨이퍼를 접착제 없이 얇게 만들 수 있습니다. 두꺼운 웨이퍼 그라인딩을 초박형 웨이퍼 두께까지 줄입니다. 이러한 이동형 리지드 웨이퍼 지원은 초박형 웨이퍼 두께에서도 높은 수율을 낼 수 있도록 해줍니다. 더욱이 이 이송 정전 캐리어는 핸들링과 프로빙과 같은 절차 애플리케이션에서도 사용할 수 있습니다.
글래스파이버 T-ESC®(Glassfiber T-ESC®)
전형적 애플리케이션
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기존의 핸들링 시스템 (이동 카세트, 진공, 베르누이 또는 기계적 엔드 이펙터 등)과 호환됩니다.
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높은 평탄도
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재사용 가능
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2인치에서부터 12인치까지의 크기로, 모양과 구현 가능한 기능을 사용자가 지정할 수 있음
추천 공정:
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그라인딩
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핸들링
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프로빙
그라인딩
그라인딩은 재료가 기계적으로 제거되는 기판 희석 공정입니다.
웨이퍼 가공 동안 웨이퍼는 카세트에서 공구로 그리고 공구 내에서 스테이션에서 다른 웨이퍼로 앞뒤로 이동해야합니다. 깨지기 쉬운 인쇄물의 경우 브레이크가 걸리거나 균열이 발생하여 향후 파손될 수 있으므로 이미 어려운 작업입니다. 또한 얇은 기판의 구부러짐은 일반적으로이 특별한 작업을 위해 설계되지 않았기 때문에 모든 툴링에 많은 문제를 일으 킵니다. T-ESC®와의 임시 본딩은 프로세싱 툴이 표준 웨이퍼와 핸들링 문제 만 볼 수 있기 때문에 큰 도움이되므로 웨이퍼 파손이 제거됩니다.
다양한 프로빙 방법이 존재하며, 기판 또는 장치의 기능을 확인하는 데 사용됩니다(예: 광학 검사 또는 전기 프로빙이 있습니다).
