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표준 고온 T-ESC® (HT T-ESC®)
표준 고온 이송 정전 캐리어 (HT T-ESC®)는 박형 웨이퍼 핸들링 지원 솔루션으로, 고온 충격 (최대 400 °C)와 진공 상태에서의 작업을 지원합니다.
표준 고온 T-ESC® (HT T-ESC®)
전형적 애플리케이션
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400°C), 진공 상태에서 사용할 수 있으며
박형 웨이퍼의 작업 중 핸들링에 관하여, 높은 온도 충격 (최대) -
기존의 핸들링 시스템 (이동 카세트, 진공, 베르누이 또는 기계적 엔드 이펙터 등)과 호환됩니다.
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오염도가 아주 낮음
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높은 평탄도
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아웃가싱 현상 없음
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재사용 가능
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2인치에서부터 12인치까지의 크기로, 모양과 구현 가능한 기능을 사용자가 지정할 수 있음
추천 공정:
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전기 도금
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어닐링
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다이 핸들링
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핸들링
핸들링
웨이퍼 가공 동안 웨이퍼는 카세트에서 공구로 그리고 공구 내에서 스테이션에서 다른 웨이퍼로 앞뒤로 이동해야합니다. 깨지기 쉬운 인쇄물의 경우 브레이크가 걸리거나 균열이 발생하여 향후 파손될 수 있으므로 이미 어려운 작업입니다. 또한 얇은 기판의 구부러짐은 일반적으로이 특별한 작업을 위해 설계되지 않았기 때문에 모든 툴링에 많은 문제를 일으 킵니다. T-ESC®와의 임시 본딩은 프로세싱 툴이 표준 웨이퍼와 핸들링 문제 만 볼 수 있기 때문에 큰 도움이되므로 웨이퍼 파손이 제거됩니다.
전기 도금
전기 도금은 액상으로부터 층을 기판 상에 형성하는 방법이다. 원하는 영역은 마스킹되고 기판은 배쓰에 침지되며, 일반적으로 후면은 커버되고 기판과 액체 사이에 전기장을가함으로써 기판의 피복되지 않은 표면 상에 층이 형성된다.
가열 냉각
기판은 특정 온도, 예를 들어 이온 주입 후 공정으로 인한 손상을 치료합니다.
DIE 핸들링
이미 절단 된 "DIE"가 경제적 인 방식으로 추가 처리를 필요로 할 때 다중 기판 작동이 종종 필요합니다. 이들 중 다수는 T-ESC® (mobile electrostatic carrier)에 일시적으로 결합되고 표준 웨이퍼 크기로 처리 된 후 최종 기판으로 이송되고 나중에 T-ESC®를 방출하여 결합 될 수 있습니다.
